UV光氧废气净化处理用的高臭氧UV紫外线光束照射恶臭气体，裂解恶臭气体如：氨、三甲胺、硫化氢、甲硫氢、甲硫醇、甲硫醚、二甲二硫、二硫化碳和苯乙烯，VOC类，苯、甲苯、二甲苯等的分子链结构，使有机或无机高分子恶臭化合物分子链，在紫外线光束照射下，裂解解转变为离子。

V光氧催化氧化废气治理设备中对有机挥发性废气进行光解与催化氧化。光解首要是通过高能UV紫外线对空气中的氧气发作分化作用，推进氧分子分化变成游离态的氧，因为游离态氧上的正负电子处于不平衡状态，因而游离态氧极易与氧分子联系生成臭氧，而臭氧的强氧化作用可以推进有机挥发性废气的分化。在UV高效设备内安装着紫外线放电管，紫外线放电管发作的光子能量可以高达647KJ/mol、742KJ/mol，如此高的光子能可以迅速裂解小于该能量的有机挥发性废气的分子键，使其转变为无机小分子物质。

UV光氧废气净化处理催化器安装的特制高能高臭氧的UV紫外线灯管会发出紫外线照射废气，以分裂苯乙烯、苯、甲苯、二硫化碳此类工业废气的分子链结构，使这些有机或无机高分子恶臭化合物分子链，在散发出的高能紫外线的照射下，降解为低分子化合物，如CO2、H2O等。
高能的UV紫外线光束可以把空气中存在的氧分子进行分解，从而产生游离氧，游离氧由于自身携带不平衡的正负电子，会与氧分子进行结合，从而产生臭氧。臭氧对有机物有着强的氧化作用，所以臭氧对工业废气中的异味清除有着非常明显的效果。
UV光氧设备还可以分解工业废气中细菌的分子键，进行杀菌消毒。

UV光氧设备是在废气处理中是非常常见的设备。UV即是紫外线的简称，我们在日常谈论中经常将“UV"作为UV光氧设备的简称，但这里存在一个误区，在UV设备中，还有一种设备叫做UV光解设备。两者均可用来处理污染物，但又有很大的区别。简单的说：

UV光解设备：利用了高能紫外线的能量进行光化学反应，通过光解来处理污染物。

UV光氧设备：除了紫外线光解污染物，还有一个重要的光催化反应来处理污染物。